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電子級羥基乙叉二膦酸(HEDP)

一、性能與用途

電子級HEDP為電子級高純產(chǎn)品,具有很強(qiáng)的金屬離子螯合能力,在半導(dǎo)體加工的研磨、拋光、蝕刻等工藝,可以提高研磨效率和光潔度,在顯示面板、PCB板蝕刻加工過程中使用可以減少毛刺,提高銅箔表面光潔度。

二、技術(shù)指標(biāo)

項(xiàng)  目 指  標(biāo)
外 觀 無色透明液體
活性(以HEDP計)/% ≥60.0
單金屬離子/ppb <10ppb(可根據(jù)客戶需求定制)

三、包裝與貯存

電子級HEDP液體用電子級塑料桶包裝,每桶25kg或200kg,可根據(jù)客戶需求定制。貯存于室內(nèi)陰涼通風(fēng)處,貯存期十二個月。

四、安全與防護(hù)

電子級HEDP為酸性,操作時注意勞動防護(hù),應(yīng)避免與皮膚、眼睛等接觸,接觸后應(yīng)立即用大量清水沖洗。

聯(lián)系方式

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